擴散泵基本上是一種沒有麻煩的裝置，因為它沒有運動部件，只需要適當?shù)难h(huán)冷卻水，給加熱器以合適的功率以及正確用量的清潔的泵工作液。內(nèi)部噴嘴的較大損壞或部件的不正確裝配都會影響擴散泵的抽速和返流。當遇到問題時需要日常檢查的是確證加熱器產(chǎn)生的額定功率。冷卻水的出口溫度一般應(yīng)在40～50℃，并應(yīng)將水流調(diào)節(jié)到使出口水溫保持在此溫度范圍內(nèi)。如果使用一種耐用的泵工作液，檢查液位便足夠了。然而，如果使用價格低的擴散泵工作液，它可能會發(fā)生分解，這要求對泵進行清洗和更換新鮮的泵工作液。泵工作液的壽命取決于加熱時暴露在較高壓強的情況。泵工作液的過分耗損估計是由于閥門的誤操作，即在超出泵制造廠規(guī)定的允許壓強下打開前級閥或高真空閥。

　　抽氣慢通常與氣體負荷大有關(guān)。這可由高的前級壓強證明擴散泵工作是否正確。在入口壓強為100～lmTorr下抽氣時，擴散泵將抽除相當大量的氣體。在這種情況下，前級壓強上升至到200或250mTorr是正常的，而當真空室的壓強降到5×10-4Torr以下時，此壓強便迅速下降。前級壓強可作擴散泵運行“正常”判斷的依據(jù)。如果前級壓強低于正常值，則應(yīng)懷疑擴散泵的狀況；如果前級壓強高于正常值，則應(yīng)懷疑真空室存在著大的氣體負荷或者真空系統(tǒng)的某部分有泄漏問題。

　　真空系統(tǒng)的氣體負荷大的原因有兩個方面：泄漏和放氣。放氣是指吸附在真空室、工具夾、基板或部件表面上的任何氣體的放出，通常放出的氣體以水蒸氣為主，但也可能是塑料或潤滑油中的易揮發(fā)性物質(zhì)。因為泄漏和出氣同樣都對抽氣或者達到最低壓強有影響，應(yīng)該以檢查來確定問題的性質(zhì)。要分別對空的真空室和裝有工夾具、產(chǎn)品的真空室進行檢查。

　　擴散泵在正確地工作時，一般幾乎不用看管，但是，要確保擴散泵連續(xù)工作無故障，則要進行定期檢查。

　　通過簡單的預(yù)防性的維護，可以避免由于停機時間和清洗過程。泵和系統(tǒng)的運行日記可以表明泵的狀況，而明顯的變化將表示出需要采取的校正措施。

　　檢查的頻繁程度取決于真空系統(tǒng)的類型及其操作和使用情況，兩次檢查之問的最長時間間隔要根據(jù)經(jīng)驗來確定。

　　擴散泵需要定期大清洗，因為擴散泵工作液在使用中會逐漸老化，這就要把泵從系統(tǒng)中拆卸下來。