油擴(kuò)散泵(簡(jiǎn)稱(chēng)油擴(kuò)散泵)是一種以低壓高速油蒸氣為工作介質(zhì)的動(dòng)量傳輸式射流真空泵。泵工作在高真空區(qū)域。油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，單位抽速所需成本較低；油擴(kuò)散泵沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，使用壽命長(zhǎng)，可靠性高和維修方便。油擴(kuò)散泵特別適用于要求對(duì)大工作容器進(jìn)行快速抽空以及迅速排除被處理材料在處理過(guò)程中突然放出大量氣體的工藝過(guò)程。例如，真空冶金和真空熱處理設(shè)備。
工作時(shí)，先用前級(jí)泵將油擴(kuò)散泵及系統(tǒng)抽成預(yù)備真空，泵下部的鍋爐內(nèi)裝有泵油，用電熱器將泵油加熱使之沸騰蒸發(fā)而產(chǎn)生油蒸氣。由于泵內(nèi)預(yù)抽真空，壓力較低，故泵油可以在較低溫度(與工作介質(zhì)種類(lèi)有關(guān)，一般為370～420K)下蒸發(fā)。擴(kuò)散泵油在真空下迅速揮發(fā)成蒸氣，油蒸氣沿導(dǎo)流管上升，由各級(jí)傘形噴嘴噴出。傘形噴嘴可以設(shè)一級(jí)、二級(jí)、三級(jí)、四級(jí)不等。高速?lài)姵龅挠驼魵獯蛟谒浔谏嫌帜Y(jié)成液體流回泵底，在重新加熱氣化，如此不斷循環(huán)。被抽系統(tǒng)中的氣體分子經(jīng)進(jìn)氣口擴(kuò)散進(jìn)入蒸氣射流內(nèi)部，在大量的高速定向運(yùn)動(dòng)的油分子的碰撞下被攜帶到下一級(jí)射流，經(jīng)逐級(jí)擴(kuò)散攜帶壓縮，經(jīng)出口噴嘴和排氣口被前級(jí)泵抽走。在這個(gè)擴(kuò)散抽氣過(guò)程中存在兩個(gè)有害的反向擴(kuò)散：(1)被抽氣體分子被壓縮到泵的出El處，出口處與人口端就存在被抽氣體的密度差，出口處的被抽氣體分子就會(huì)向入口側(cè)反擴(kuò)散；(2)定向運(yùn)動(dòng)的油分子與被抽氣體分子相碰撞，有一部分也會(huì)改變運(yùn)動(dòng)方向進(jìn)入被抽系統(tǒng)。再加上噴嘴處油蒸氣分子密度大于被抽系統(tǒng)的油蒸氣密度，油分子也會(huì)反向擴(kuò)散到被抽系統(tǒng)中。上述兩個(gè)有害的反擴(kuò)散是影響油擴(kuò)散泵極限真空度提高的原因之一，同時(shí)也對(duì)真空系統(tǒng)產(chǎn)生油蒸氣污染。改善噴嘴設(shè)計(jì)和提高擴(kuò)散泵油的質(zhì)量，在泵的進(jìn)氣端設(shè)置液氮冷阱等，可以在一定程度提高泵的極限真空度，減輕系統(tǒng)的油污染。普通油擴(kuò)散泵的極限真空度可達(dá)10-5Pa，超高真空油擴(kuò)散泵可達(dá)5 X 10-8Pa。
油擴(kuò)散泵必須在用前級(jí)泵將系統(tǒng)壓力預(yù)先抽到低于擴(kuò)散泵的起始工作壓力后才能正常工作，而且油擴(kuò)散泵必須在正常抽氣工作前提前對(duì)泵油進(jìn)行加熱。油擴(kuò)散泵在裝配前必須清洗，裝入足夠的工作液體。泵s體冷卻水套必須通足夠壓力的冷卻水。未通冷卻水時(shí)，不要加熱擴(kuò)散泵油。停機(jī)時(shí)，先停止加熱，待油冷卻后現(xiàn)停止冷卻水。
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