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擴(kuò)散泵油返流的原因及解決辦法

發(fā)布時(shí)間:2016年02月24日 10:13   閱讀:8265   返回   來(lái)源:澤德
  油擴(kuò)散泵工作時(shí),不管使用什么樣的泵油,總有部分油蒸氣返流入高真空端、這不但影響泵的 極限壓力,還會(huì)對(duì)被抽容器造成污染。采用返油率評(píng)價(jià)泵的返流特性。返油率是指在泵人口處,單 位時(shí)間,單位面積上返回泵油的質(zhì)量。不同泵油返油率不同,同一種泵油,油溫增高時(shí)返油率加大。泵的第一級(jí)噴嘴結(jié)構(gòu)、尺寸、形狀對(duì)返油率也有影響。
  擴(kuò)散泵返流油蒸氣的來(lái)源主要有以下幾個(gè)方面:
        a.凝結(jié)于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發(fā)。
        b. 泵壁上凝結(jié)油膜的再蒸發(fā)和爬移。
        c.噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射。
        d.油蒸氣由噴 嘴噴出后,由于油蒸氣分子的熱運(yùn)動(dòng)、碰撞、反彈,包括泵油爆沸產(chǎn)生的飛濺和壓力起伏引起的油 分子直接向高真空側(cè)返流。
  在頂噴嘴上加一個(gè)優(yōu)選形狀的擋油帽,可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對(duì)泵抽 速?zèng)]有太大的影響,所以在現(xiàn)代擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)中經(jīng)常采用這種結(jié)構(gòu)。在頂噴嘴上方,緊貼泵壁加一 擋油環(huán),經(jīng)實(shí)驗(yàn)得知,返油率最多可減少20%。
  在對(duì)降低泵的返油率有更高要求時(shí),可以在抽氣系統(tǒng)上采用各種結(jié)構(gòu)的冷阱和障板。另外,調(diào) 好泵的最佳加熱功率值的方法亦可使返油率減小。在泵加熱開(kāi)始和終止時(shí),返油率將出現(xiàn)峰值,可 以用控制泵口處的閥門的方法來(lái)克服。
 

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