分子泵的結構原理及發(fā)展
發(fā)布時間：2016年05月31日 09:55 閱讀：5819
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澤德
分子泵從結構上看是屬于機械泵一類，但是其作用原理卻與一般的機械泵完全不同。
分子泵的工作原理是建立在氣體壓強已屬分子流范圍，因此，分子泵工作時都帶有抽預真空的前置真空泵。
最早的分子泵是利用高速旋轉的轉子，給予與之相碰撞的氣體分子以動量，將氣體分子驅向出口處，再由前置泵抽除。這種分子泵的抽速不大，現(xiàn)在已很少可見到。
從五十年代來到現(xiàn)在，已出現(xiàn)一種完全新型的分子泵-渦輪分子泵。
渦輪分子泵的工作原理是基于氣體分子在分子流狀態(tài)下的傳輸幾率。早期的結構是臥式的，六十年代末發(fā)展了結構更加簡單、緊湊和振動小等特點的立式渦輪分子泵。
渦輪分子泵主要由泵體(定子)和轉子組成，轉子上裝有幾組一定幾何形狀的葉片，泵體上裝有幾組相應的葉片，每組葉片構成一個工作級。轉子上的動葉片和泵體上的靜葉片間具有很小的間隙。當轉子被電機拖動作高速旋轉時(轉速可達10000-60000轉/分)，被抽氣體從入口處逐級壓縮，最后壓縮到出口處由前置真空泵抽走。
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