從20世紀(jì)70年代后期開(kāi)始，真空設(shè)備已不再是簡(jiǎn)單地將真空室內(nèi)部抽成真空，而是抽氣后導(dǎo)入各種氣體實(shí)現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)，從而對(duì)泵的要求越來(lái)越高。這些反應(yīng)性氣體要求有更大的抽氣速率的真空泵。因此，改良型分子泵即復(fù)合式分子泵開(kāi)始問(wèn)世。

　　分子泵也可以看作非常精密的風(fēng)扇，當(dāng)然不是簡(jiǎn)單地把風(fēng)送出去，而是把氣體朝著一個(gè)方向排出，實(shí)現(xiàn)高真空，它是以尖端的技術(shù)為基礎(chǔ)的。在實(shí)際應(yīng)用中，高速運(yùn)動(dòng)是通過(guò)旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)的。為了實(shí)現(xiàn)高真空，旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片分30組相互疊加組合后置入泵體內(nèi)，運(yùn)動(dòng)時(shí)如仔細(xì)傾聽(tīng)，可聽(tīng)到高速轉(zhuǎn)動(dòng)的聲音。

　　這種真空泵通電后在短時(shí)間內(nèi)[2(小型)～40min(大型)]即可啟動(dòng)，而且從10Pa到超高真空都能使用，非常方便，分子量越大的氣體越能被排出，通常用機(jī)械旋片泵作為輔助真空泵使用。因?yàn)槠鋵儆诟咚傩D(zhuǎn)的機(jī)械真空泵，因此防震、加熱、維護(hù)等都需要注意。

　　在對(duì)大量氣體實(shí)現(xiàn)抽氣的情況下，分子泵高壓一側(cè)采用高速旋轉(zhuǎn)的螺桿形式。隨著該螺桿部的高速旋轉(zhuǎn)，氣體被向出氣處推出，抽氣口的壓力即使上升也不影響真空泵的抽氣，因而抽氣壓力范圍得以向高壓方向擴(kuò)展，也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大流量氣體的抽氣。相同口徑的真空泵在10Pa(10-1Torr)時(shí)抽氣速度可以提高數(shù)倍。分子泵在對(duì)大量氣體抽氣，特別是真空中有化學(xué)反應(yīng)時(shí)，因其沒(méi)有使用油而不必?fù)?dān)心油的變質(zhì)問(wèn)題(機(jī)械旋片泵等會(huì)使油變黏稠)。它還是在對(duì)食品等有機(jī)物質(zhì)進(jìn)行處理時(shí)很重要的真空泵。