容積吸氣劑泵的工作過程及特點
發(fā)布時間：2016年08月24日 09:10 閱讀：4539
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在金屬片的兩面分別被覆上50微米厚的極活潑的鋯-鋁合金(一種氣體易向其內(nèi)部擴散的活性非蒸發(fā)吸氣劑)，將該金屬片彎曲成具有許多折疊的圓筒(以增大吸氣劑的有效表面積)，沿圓筒的軸線設(shè)置一熱絲即成容積吸氣劑泵。
工作過程是：將容積吸氣劑泵與真空容器直接相連，在真空中給熱絲通電加熱到850～900℃，并保持10分鐘，借其熱輻射進行活化處理，以后在400℃工作溫度下靠鋯-鋁合金表面層對氣體的表面局部化學(xué)吸附、表面擴散、內(nèi)部擴散等，使氣體固溶于金屬晶格中進行抽氣。抽氣達到飽和后，再加熱(最低溫度需750℃，5分鐘)，即可恢復(fù)抽氣能力。
這種泵的特點是：
(1)可用來補充濺射離子泵對活性氣體的抽速。工作時鋯鋁吸氣劑不蒸發(fā)，工作溫度低，因此真空潔凈。另外，不用液氮即可在短時間內(nèi)獲得超高真空。
(2)與濺射離子泵相比，雖然濺射離子泵較易獲得10-11乇真空度，但容積吸氣劑泵在10-7～10-10乇范圍內(nèi)抽氣較穩(wěn)定。
(3)宜作濺射設(shè)備的抽氣泵，對濺射電極放出的活性氣體進行選擇抽氣。另外，當通入的稀有氣體欲在高壓強中進行純化時，也宜用容積吸氣劑泵抽氣。
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