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吸附泵的工作原理及特性

發(fā)布時間:2016年08月26日 09:05   閱讀:5988   返回   來源:澤德
  吸附泵能夠將真空室的氣壓從大氣壓抽到中真空范圍內,其工作原理是氣體在分子篩表面的物理吸收,經(jīng)常使用的材料是沸石(一種堿性鋁硅酸鹽)。
  孔隙的表面積大約為每克103m2。沸石13X的孔隙直徑接近水蒸汽、油蒸汽和大氣體分子的大小。因此,大分子容易被吸附,而氫、氦和氖等小氣體分子不容易被吸附。
  氣體的吸收與壓強和溫度有關。注意,氮吸收量與氖或氦吸收量之間的差別至少達4個數(shù)量級。
  實際上,氫氣和氦氣通常存在于從微波管中排出的氣體中。這是因為在釬焊過程中使用氫氣作保護氣氛,以及在惰性氣體保護焊中常使用包含氦氣的惰性氣體。由于通常存在氫氣和氦氣,所以在使用吸附泵時要謹慎。因為泵經(jīng)常在黏性流范圍內工作,氫氣和氦氣容易被沸石隨氣體抽出。當抽氣過程發(fā)生十分快時,氫氣和氦氣能被帶入吸附泵中,然后,在氫氣和氦氣擴散回被抽容器前,可以關閉閥門。
  將吸附泵浸入液氮中可使它獲得較大的抽氣能力。為了使沸石在抽氣后恢復活性,可將吸附泵加熱到室溫。氣體從沸石中釋放出來,通過排氣口從泵中排出。如果大量的水蒸汽或其它可壓縮液體被吸附泵抽出,那么有必要將沸石在不低于200℃的溫度下烘烤幾個小時。
 

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