吸氣離子泵的工作原理及分類

　　吸氣離子泵的工作原理是被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上，從而形成真空。吸氣離子泵有濺射離子泵、蒸發(fā)離子泵等。

　　1.濺射離子泵：具有使用簡單、可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少、維護(hù)費(fèi)低等優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn)是：對(duì)惰性氣體和大分子量的有機(jī)蒸汽抽速較低，陰極對(duì)污染很敏感，由于有笨重的磁鐵，重量大，體積大，單位抽速成本高。該泵的極限真空度為1．33×10^-9Pa。

　　2.蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而復(fù)在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附。該泵對(duì)氫、氮、氬和氦都有不同的抽速。該泵啟動(dòng)壓力為1．33×lO^-1Pa，工作壓力范圍為1．33×10^-1～1．33×10^-8Pa。

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