真空泵是指造成真空狀態(tài)而使特定空間內(nèi)壓強降低的工具。為將一定空間內(nèi)的氣體通過真空泵獲得不同的真空度，需要采用不同的真空泵。真空泵基本上可分為氣體輸送式和氣體收集式兩種。前者是將氣體從被抽容器中排除，后者是將氣體收集在真空中的某一吸氣表面上。氣體輸送式真空泵又分為機械泵和流體傳輸泵。氣體收集式真空泵又分為冷凝泵和吸附泵。
機械泵可分為變?nèi)菔秸婵毡?、牽引式分子泵和渦輪式分子泵三種。
流體傳輸泵可分為噴射泵、擴散泵和擴散噴射泵三種。
冷凝泵可分為冷凝成液體泵和冷凝成固體泵兩種。
吸附泵可分為帶吸附劑泵、連續(xù)形成新鮮吸氣劑膜泵、非蒸汽型消氣劑泵三種。
真空泵的主要性能指標(biāo)
(1)真空度。它是指真空泵在給定條件下，經(jīng)充分抽氣后所達(dá)到的穩(wěn)定的低壓強。
(2)抽氣速率。它是指對于給定氣體，在一定溫度和壓強下，單位時間內(nèi)從泵吸氣口平面處抽除的氣體容積。
(3)抽氣量。它是指對于給定氣體，在一定溫度下，單位時間內(nèi)從泵吸氣口平面處抽除的氣體量。
(4)大反壓強。需要用前級泵的真空泵，在一指定的負(fù)荷下運轉(zhuǎn)時．其出口反壓強升高到某一定值時，則泵會失去正常的抽氣能力，該反壓強稱為大反壓強。
(5)起動壓強。泵能夠開始起動工作時的壓強。
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