三種低溫冷凝泵的再生方式
發(fā)布時間：2015年08月02日 09:41 閱讀：5663
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三種低溫冷凝泵的再生方式
冷凝泵又叫凝結(jié)水泵，低溫冷凝泵是依靠制冷機獲取冷量,利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。低溫冷凝泵的抽氣是一個物理過程,它所冷凝和吸附的氣體并沒有排出泵外,因此在冷頭和低溫陣列活性碳飽和后,泵的吸氣能力下降,同時冷頭溫度開始升高(20 K以上)。為恢復(fù)泵的抽氣能力,需對泵進(jìn)行再生,常見的有自然升溫法、熱N2沖洗法、電加熱法3種低溫冷凝泵再生方式。
1.自然升溫法
關(guān)閉高真空閥和電源后,使泵自然升溫至室溫，從過壓保護(hù)閥自動釋放出冷凝吸附的氣體。這種再生方法優(yōu)是簡單經(jīng)濟,但是耗時過長(15 h左右),水蒸汽易被活性碳吸附而不易排出,造成粗抽時間過長,使機械泵油蒸汽返流到泵內(nèi)造成污染,影響泵的抽氣性能。
2.熱N2沖洗法
熱N2沖洗法是利用熱N2充入泵內(nèi)對泵進(jìn)行加熱升溫,釋放出泵內(nèi)冷凝吸附的氣體。這種熱交換的效率高,有利于水蒸氣從活性碳中脫附,可以縮短再生時間(4 h左右),提高再生質(zhì)量,同時還可以稀釋泵中吸附的有毒易爆氣體，是溫冷凝泵最常用的再生方法。
3.電加熱法
采用加熱帶包裹在泵壁周圍對其進(jìn)行加熱升溫,使泵釋放出吸附的氣體。這種方法快速高效,缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜,需對加熱溫度進(jìn)行監(jiān)控,一般不超過66℃,以免使泵內(nèi)元件受損。泵體升到室溫后,使用機械泵對其進(jìn)行粗抽,一般達(dá)到6.5~13 Pa,然后關(guān)閉粗抽閥,記下真空度。確定無泄漏的情況下,對真空度進(jìn)行觀察,若5 min內(nèi)壓力升高率小于1.3 Pa/min,則可認(rèn)為再生完成,否則必需重復(fù)充N2氣、粗抽過程,直到壓力升高率達(dá)到要求為止。
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