渦輪分子泵的運用

　　渦輪分子泵的正常運行需要小于10pa的前壓強，旋轉(zhuǎn)葉片機械泵可以用作前級泵。渦輪分子泵有一種特殊的中頻電源，它為泵中的電機提供動力。啟動中頻電源后，泵的轉(zhuǎn)速可在幾分鐘內(nèi)達到額定值。泵的額定轉(zhuǎn)速一般在30000~50000 r/min之間。立式泵需要垂直放置，軸承高速旋轉(zhuǎn)在泵中，需要用冷卻水冷卻。

　　為了達到分子泵的最終真空度，應烘烤被抽吸體和泵體。由于泵體的連接部分是用橡膠密封的，所以泵體的烘焙溫度不應太高，即100-120 C。

　　渦輪分子泵與大分子相對質(zhì)量氣體的壓縮比較大，極限真空度主要取決于小分子相對質(zhì)量氣體的組成，如H2、He等。此外，容器和泵體釋放的水蒸氣也是影響最終真空度的重要因素。

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